| 高感度 質量・エネルギーアナライザ EQP | アステック(株) |
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プラズマ診断ツールとして開発された、45度セクター型高透過率イオンエネルギーアナライザ/四重極質量分析計です。 このアナライザは、陽イオン、負イオン、ラジカル及び中性粒子の詳細な分析に適しており、質量スペクトル、エネルギースペクトル及び出現電位スペクトルを得ると共に、各強度の時間変化をプロットすることができます。 過渡的な変化やアフターグローも、高速データ処理によって容易に研究することができます。 又、本システムはイオン源やドリフト管からのイオンフラックス分析にも適しています。 |
製造元:HIDEN ANALYTICAL Ltd.
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