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資料請求番号 NEW0193

真空蒸着源“K-cell” NATC(Near-Ambient Temperature Effusion Cell)

NATCは、-50℃から300℃の温度範囲において有機材料を蒸発させる独特なデザインのK-cellです。 特徴として、有機材料にとって不可欠な温度安定性が極めて正確なビームフラックス制御を可能にし、ファジー論理制御ループが実際の温度をセットポイント以上に上昇させないように保障します。

仕様
温度範囲 -30℃〜300℃
温度安定性 ±0.01k
最高脱ガス温度 300℃
ベークアウト温度 250℃
対応フランジ CF40/CF63
坩堝材料 PBN/PGR/W/Ta/quartz
坩堝充填容量 5〜39cc
対応材料 有機物,Hg,Cs,Rb,K
製造元:CreaTec社

記載内容はリリース時点のものでその後変更されている可能性があります。

掲載日:2004.6.10