| 真空蒸着源“K-cell” NATC(Near-Ambient Temperature Effusion Cell) |
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NATCは、-50℃から300℃の温度範囲において有機材料を蒸発させる独特なデザインのK-cellです。 特徴として、有機材料にとって不可欠な温度安定性が極めて正確なビームフラックス制御を可能にし、ファジー論理制御ループが実際の温度をセットポイント以上に上昇させないように保障します。 ■ 仕様
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製造元:CreaTec社
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