マイクロスポットSIMSシステム　MAXIM SIMS (HIDEN社)

　分析部はトリプルフィルター型四重極質量分析計、イオン源には、リキッドメタルイオン源を採用した、マイクロスポットSIMSシステムです。イオン化室も備え二次中性粒子質量分析法（SNMS)でも使用可能。最小50nmの微小領域サンプル表面のPPMレベルの検出感度を得られると共に、深さ方向5nmの分解能が実現可能です。また、LabVIEWベースの3D SIMSイメージングソフトウェアが準備されています。システムにはロードロック、試料搬送、試料操作部を備え、最大50nm角までの試料のSIMS分析を可能にしています。エネルギーアナライザー付四重極質量分析計（モデルEQS)、Gaリキッドメタルイオン源などのコンポーネント販売も行います。ご相談ください。

●質量範囲：1〜300,510,1000amu ●エネルギー範囲：±100eV (±1000eVオプション） ●最小検知分圧：5E-13Pa ●感度：Al+＞3x10E6cps/nA at 5keV Ar+プライマリーイオンビ−ム ●ユースフルイールド：0.02% Bron in Silicon 5keV Oxygen プライマリーイオンビーム ●検出器：パルスカウント、シングルチャンネルトロン

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