エンドポイント検出システム SD1024シリーズ
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Spectrograph
SD1024G




EPdesigner 複合波長アルゴリズム
 Spectrograph SD1024シリーズは、光学式のエンドポイント検出システムで、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。CCDセンサを搭載し、200~800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉えることができます。また、USB/Ethernetをデータ転送としてサポートしており、ネットワーク経由でスペクトルデータを取得することもできます。
 また、付属のSpectraViewソフトウェアで採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、EPdesignerや、Neural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。SpectraViewでは、RS232/Ditital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。



<< ハードウェア仕様 >>


タイプ SD1024G/GH SD1024GL SD2048GL
CCD画素数 1024x128 2048x1
(2pixel ビニング)
2048x1
CCD仕様 裏面入射型
冷却タイプ
UVコーティング UVコーティング
分解能 < 2.0nm < 2.0nm < 1.0nm
波長範囲 200 ~ 800nm
サイズ
(mm)
142x137.2x259
重さ 3kg 3kg 3kg
ファイバー Verity社特注 SMA905 SMA905
入力ch数 最大 7 fiber 1 fiber 1 fiber
I/F USB or Ethernet
電源仕様 20-28VDC
45W


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