エンドポイント検出システム　SD1024シリーズ

Spectrograph
SD1024F




Neural PCA 複合波長アルゴリズム

　
　Spectrograph SD1024シリーズは、光学式のエンドポイント検出システムで、プラズマエッチャー内のプロセスをリアルタイムにモニタリングすることができます。CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、UV領域の感度が高く、検出困難だった微細な変化でも捉えることができます。また、USB/Ethernetをデータ転送I/Fとしてサポートしており、ネットワーク経由でスペクトルデータを取得することもできます。
　また、付属のSpectraViewソフトウェアで、採取したスペクトルデータをモニタリング、解析、エンドポイント検出アルゴリズムの設定を行います。Verity社独自のエンドポイントトレース生成アルゴリズム、Neural PCAや、Neural Networkを用いたエンドポイント検出アルゴリズムなど優れたアルゴリズムが微細プロセスをサポートします。SpectraViewでは、RS232/Ditital I/O/Ethernetといった様々なプロトコルに対応しており、ニーズに合った通信プロトコルを提供します。


<< ハードウェア仕様 >>