超微粒子製造装置(ナノ粒子製造装置)は、水素（アルゴンとの混合）や窒素などのガス雰囲気中で、材料をアーク溶解することにより強制的に蒸発させ、超微粒子を作製する目的に開発されました。

超微粒子化対象材料は、各種金属・合金・セラミックなどの広範囲に渡ります。本装置は、基本的には直流アーク溶解炉の1種です。雰囲気ガスに水素を使用して、金属をアーク溶解すると、金属が極めて蒸発し易くなり、通常の真空中での金属蒸発速度よりも大きいという特異現象が1980年代に金属材料研究所（現　物質材料研究機構）において発見されました。それ以来、直流アーク溶解炉を改良した装置を使用して数多くの金属、合金、セラミックスのナノ粒子が作製されることが証明されてきました。

ナノ粒子の生成は水素(場合により窒素、酸素を使用)を含むアルゴン(不活性ガス)雰囲気(大気圧)中でナノ粒子化対象材料に水素プラズマ放電を行う事によりナノ粒子が発生します。この時のガは閉鎖系で省エネタイプです。水素ガスは材料の強制蒸発作用があり雰囲気の水素濃度の増加と共にナノ粒子の発生速度が増大します。弊社では、世界に類をない新しいナノ粒子製造装置を開発しました。