コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2010年3月16日、スループット向上のニーズに応え、小型エキシマレーザIndyStar^TMの2 kHz繰返しモデルをリリースした。

Semi S2安全ガイドラインに適合したIndyStar の2 kHzモデルは、より優れた加工を実現するため、様々な新しい出力安定化機能を加え、半導体製造及び検査、また微細加工装置向けの理想的な光源となった。新しい2 kHzモデルには、安定化出力8Wタイプ(波長：193 nm /ArF)と12Wタイプ(波長：248 nm / KrF)の2種がある。

2 kHzモデルは、POWERLOKとTIMELOKという2つの新しい安定化機能を搭載した最先端の電子プラットフォームを採用している。POWERLOKは、パルスエネルギーを一定化する制御アルゴリズムで、特にバーストモード時のエネルギー安定化に効果を発揮する。一方TIMELOKは、入力トリガーからパルス出力までの遅延時間を安定化し、他の機器との同期をより有効にする機能である。加えて、信頼性が実証されているALMETAチューブを内蔵しているため、ランニングコストを抑えるに留まらず、高信頼性と長寿命をも実現する。波長193 nmでの動作時において、この新モデルは100億ショット以上のチューブ/オプティクス寿命をハンズフリーで実現する。

この新モデルは、フォトマスク検査やリソグラフィ光学部品の検査などの高速処理が求められる半導体応用に最適である。また精密かつ高速な微細加工や大量マーキング等にも適している。

主な仕様

• 波長：193 nmモデル
  • 安定化出力：8W
  • 安定化パルスエネルギー：4 mJ
• 波長：248 nmモデル
  • 安定化出力：12W
  • 安定化パルスエネルギー：6 mJ
• 繰返周波数：2 kHz
• サイズ：(L)974 x (W)381 x (H) 838 mm

アプリケーション

• フォトマスク検査
• 微細加工

特長

• 高繰り返し
• 長寿命ALMETAチューブ採用
• RoHS規制適合品

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掲載日2010年3月17日