コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2011年5月23日次世代フラットパネルディスプレイ用低温ポリシリコン(以下LTPS)の大量生産を可能にする、レーザアニーリング向け高出力エキシマレーザVYPERTMをリリースした。
LTPSは、高精細のスマートフォンやタブレットPCに使用されており、低消費電力で軽量な液晶ディスプレイ(LCD)や有機EL(OLED)ディスプレイを製造する上で重要なコンポーネントになっている。
kWクラスのエキシマレーザであるVYPERとそれ専用に設計されたラインビーム光学系を組み合わせることで、現在の第4世代パネルから第6世代パネルへスムーズに移行でき、スループットを飛躍的に向上できる。また将来的には、VYPERの先端デザインとシステムの適応力により、第８世代までの基板サイズにも対応できるため、ディスプレイメーカーの厳しいコスト目標をサポートできる。
“今日、大多数の中小型携帯ディスプレイの製造には、コヒレント社のエキシマレーザとラインビーム光学系システムが用いられている。出力やラインビームの長さをスケールアップした、新しいVYPERと拡張性の高い光学システムの導入により、将来的に第８世代までの大型パネルを高いコスト効率で製造できる目処が立っており、今後も実績のあるコヒレント社のエキシマレーザと光学系を採用したアニーリングシステムが、急速に拡大する高解像度ディスプレイマーケットで選ばれ続けていくであろう。” (コヒレント社副社長 Richard Waldermann談)
主な仕様- 波長 ： 308 nm
- 最大繰返周波数 ： 600 Hz
- 安定化パルスエネルギー ： 1800〜2000 mJ
- 最大安定化出力 ： 1200W
- エネルギー安定性 (Sigma) ： ≦0.45%
- レーザアニーリング
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掲載日2011年5月25日