コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2012年1月25日モードロック全固体UVレーザPaladinシリーズに24W出力モデルPaladin Advanced 355-24000（波長：355 nm、出力： >24W @ 繰返周波数：80 MHz）を新たにラインアップした。

この新モデルは、プリント基板の直接描画やその他の先端マイクロエレクトロニクス応用において、高いスループットを実現するだけではなく、Paladinシリーズの特長である、優れたビーム特性や長時間の出力安定性及び、低ノイズなどの高性能を維持している。さらに、24Wモデルは、従来モデルよりもWあたりのコストを低減できるため、スループットの向上だけではなく、製造コストも削減する。

Paladinシリーズは、すでに1500台の導入実績があり、従来のレジストの問題や複雑さに煩わされずに、多層プリント基板に直接描画ができる産業用UVレーザである。エレクトロニクスデバイスの高密度化(微細化)に伴い、この技術の必要性がますます高まっており、24Wモデルの投入により、例えばスマートフォンやタブレットPCのような小型デバイスの製造で、幅広く使用されている多層HDI PCB (高密度実装配線 プリント基板)のデジタルパターニングのスループットをさらに向上することができる。

また、Paladinシリーズはフラットパネル・太陽電池の微細加工やバイオ応用などのマイクロエレクトロニクス製造においても最適なUV光源である。なお、2W〜24Wまでの出力モデルがあるため、システムインテグレータのニーズにあった製品の提案が可能である。

主な仕様

• 波長： 355 nm
• 出力： >24W、疑似CW
• 繰返周波数： 82±1 MHz
• 空間モード： TEM₀₀ (M²<1.2)
• ビーム位置安定性： <20 μrad/℃
• 出力安定性： <±2 %
• ノイズ： <1% rms (10 Hz〜2 MHz)

アプリケーション

• PCB直接描画
• フラットパネル・太陽電池の微細加工

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掲載日2012年1月27日