コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2014年3月18日パルス制御機能とバーストモード操作を実現する100Wクラスの産業用ピコ秒レーザHYPER RAPID 100をリリースした。この新モデルは特にセラミックやサファイア、ガラスなどの脆性材料の加工に対する優位性を持ちながら、従来のレーザよりも出力Wあたりのコストが低いため、経済的にも優れ、より幅広い加工用途に適応する。
HYPER RAPID 100は、多段アンプを組むことにより、波長1064 nm時、平均出力100W注1(繰返し400 kHz〜1 MHz)、また波長532 nm時、平均出力65W注2を実現するモードロック固体レーザである。高いビーム質(M2<1.4)と短パルス(<15 ps)による集光ビームは、多くの材料において非線形効果を用いた加工を可能とする。その結果、可視光や近赤外光では透過してしまう材料も加工できるだけではなく、熱影響を抑えた加工が実現できる。
本モデルは、半導体やディスプレイ、ソーラーセルの製造におけるガラスの穴あけ、強化ガラスの切断、サファイア切断、TCO透明導電膜などの精密加工に適している。
注1: プロセスシャッター付きモデルの場合、平均出力90W
注2: プロセスシャッター付きモデルの場合、平均出力60W
※プロセスシャッター（AOM）により、パルス周波数の外部制御が可能
アプリケーション
- 精密加工
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掲載日2014年3月19日