コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ）は、2015年6月22日、実用的な価格帯で、かつ柔軟なパフォーマンスと高い信頼性の両立を実現する、全く新しいデザインの産業用高出力フェムト秒レーザの新製品Monacoをリリースした。完全密閉筐体でワンボックス型のMonacoは、オシレータ部とアンプ部が一体化され、パルス幅400 fs以下で、波長1035 nm、繰返周波数1 MHz（平均出力 40W）、パルスエネルギー40 μJを提供する。対象アプリケーションの求める多彩な出力要件に柔軟に対応できるよう、シングルショットから繰返周波数の最大値までの範囲で柔軟に調整が可能で、さらに、パルス幅も10 psまでの設定調整を可能としている。

また本レーザは、設計、材料、製造工程に至るすべてにおいて、産業用レーザに求められる24時間稼働を前提として設計されている。例えば、メンテナンス頻度を低減しながら性能を維持するため、アクティブクリーニング機能が備わった密閉シールド内に、励起光源やアンプ部品といった各種コンポーネントがパッケージされている。さらに、レーザの設計は高加速寿命試験（HALT）により繰返し最適化され､個々のユニットは、加速ストレス性能試験（HASS）の実施により信頼性が保証されている。

一般的に、高ピークパワーで、パルス幅のより短いフェムト秒レーザは、パルス幅の長いものに比べアブレーション閾値が低く、より熱影響（HAZ）の少ない加工を実現する。そのため、金属や半導体、有機物などの幅広い材料へのより高精度な加工に適している。さらに、Monacoは超短パルスと高繰返周波数の組み合わせにより、例えばプラスチックやポリマーなどの薄膜の切断、シリコンウェハのスクライビング、強化ガラスの切断などの加工においても、加工スピードと費用対効果の両立を実現することが可能である。特に、半導体分野で使用される混合材料にもその効果を発揮する。また、エレクトロニクス分野以外にもLASIKや白内障治療などの眼科応用にも最適なレーザである。

主な仕様

• 中心波長：1035±5 nm
• 平均出力：40W
• 出力エネルギー：40 μJ @ 1 MHz / 10 μJ @ 4 MHz
• パルス幅：<400 fs

アプリケーション

• プラスチック、ポリマー等の薄膜切断
• シリコンウェハのスクライビング
• 強化ガラスの切断
• 多層膜加工
• LASIK、白内障治療等の眼科応用

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掲載日2015年6月24日