コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ）は、2015年6月22日、金属やガラス、サファイア、セラミック、誘電体材料等への高精度な微細加工向けソリューションとして、コスト効果の高いフェムト秒レーザの新製品RAPID FXをリリースした。この新製品は、繰返周波数100 kHzにおいて（オプションで200 kHzまで可能）、パルス幅900 fs、パルスエネルギー最大100 μJのパフォーマンスを提供する。またRAPID FXは、高いビームクオリティ（M2<1.4）、パルスオンデマンド機能に加え、高エネルギーのフェムト秒極短パルスにより、加工スピードを犠牲にすることなく、ほとんど熱影響のない、ミクロン単位の精密な加工を実現する。
また、これらの加工特性に加え、低イニシャルコストと優れた信頼性を両立するRAPID FXは、長期稼働における安定性が求められる多くの産業用アプリケーション向けに適した経済的なモデルである。本レーザは、主に自動車などの燃料噴射用インジェクションノズルの穴あけや、ディスプレイやスマートフォン製造などにおけるガラス、サファイア基板のスクライビング、ステント等の医療用インプラントの精密形成などの応用に適している。コヒレント社がすでに展開するピコ秒、ナノ秒レーザの広範なポートフォリオがもたらす、各種アプリケーションへの強力な優位性に加え、この産業用フェムト秒レーザRAPID FXの登場により、さらなる加工精度の向上と用途拡大への可能性を提供する。
主な仕様
- 中心波長：1030±5 nm
- 平均出力：≧10W
- 最大パルスエネルギー：100 μJ @ 100 kHz
- パルス幅：<900 fs
アプリケーション
- 燃料噴射用インジェクションノズルの穴あけ
- ガラス、サファイア基板のスクライビング
- 医療用インプラントの精密形成
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掲載日2015年6月24日