コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ）は、2015年6月22日全固体QスイッチパルスグリーンレーザEvolutionシリーズの次世代モデルとしてRevolutionシリーズをリリースした。 新モデルRevolutionシリーズは、より高出力、より高いパフォーマンスと産業レベルの信頼性を提供する。

特に、波長527 nmで最大平均出力80W、および優れたビームプロファイルで高エネルギーを実現する。また繰返周波数をシングルショットから10 kHzにスムーズに調整でき、オプションで最大40 kHzの高繰返し周波数を選択できる。さらに、すべてのモデルが再生増幅器への内蔵や産業応用装置への組込みがし易いコンパクト設計(216 mm x 432 mm)となっている。

Revolutionは、共振器内の結晶で周波数を倍増させ、基本波1054 nmからグリーン波(527 nm)を出力する全固体Nd:YLFレーザで、コヒレントの他の次世代レーザ同様、最先端のパフォーマンスと産業レベルの信頼性を兼ね備えている。

コヒレント社は、長年産業用レーザの製造で培った知見と経験を理科学用レーザの開発に展開している。本レーザも、産業応用で実績のあるスクリーニング法の高加速寿命試験(HALT)と加速ストレス性能試験(HASS)を取り入れ設計及び製造されており、全数を温度サイクル(-40℃〜+60℃)でテストし、出荷している。

本新モデルは、チタンサファイア再生増幅器の励起光源として理想的で、コヒレント社の新ワンボックス型再生増幅器Astrellaシリーズにも内蔵されている。またその高いパルスエネルギーと優れたビーム質により、半導体ウェハーアニーリングなど精密材料加工応用にも適している。

主な仕様

• 波長：527 nm
• 最大平均出力：80W @ 10 kHz
• 標準パルス繰返周波数レンジ：シングルショット〜10 kHz

アプリケーション

• チタンサファイア再生増幅器の励起
• 半導体ウェハーアニーリング
• 材料加工

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掲載日2015年6月24日