高出力8W　全固体擬似CW　UVレーザをリリース

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場)は、2004年7月13日インターオプト2004(日本国内最大の光産業展、会期：7/13-16/2004、幕張メッセ)にて産業向け全固体高出力擬似CW　UVレーザPaladin™ 355-8000 (波長355 nm, 出力8W)をリリースした。

この製品は、昨年6月の発売以来、その高信頼性と長寿命で好評の4W全固体ＵＶ発振タイプの高出力バージョン。出力が２倍になったことで、基板直接描画やCTP(Computer-to-Plate)等の応用でさらなるスループットの向上と高解像度を実現する。このレーザは業界最高の出力を実現しており、半導体やフラットパネル製造過程での採用が検討されている。

Paladin 8Wタイプは、4Wタイプと同じ設計、同サイズ、同仕様(出力以外)を維持している。また、温度や湿度変化等、産業分野における過酷な使用条件に耐えるべく、独自の製造特許技術Permalign™ ^注1）、アルミニウムフリーLDや完全シールド構造を採用し、長寿命、高出力安定性及びハンズフリー操作を実現した。またコンパクトでモジュール化されたデザインにより、装置組込やモジュール交換作業が容易なため、従来使用されている水冷アルゴンレーザの理想的な置換え光源となっている。

主な仕様

• 波長：355 nm
• 出力：> 8 W
• 繰返周波数：80 ±1MHz

アプリケーション

• 基板直接描画
• CTP
• 半導体非破壊検査
• レーザアニール
• 薄膜除去
• フレックスシート切断

特長

• 高信頼性
• 長寿命
• 高効率
• ハンズフリー
• 低ランニングコスト

「米国コヒレント社｣

1966年に設立された理科学用・産業用レーザ製造・販売会社。レーザ光源から計測機器まで幅広い製品群を取扱う。主要製品として、新技術(光励起半導体レーザ技術)を用いた全固体ブルーレーザ｢Sapphireシリーズ｣などがある。
NASDAQ上場。
1981年、日本法人としてコヒレント･ジャパン株式会社を設立。国内における販売及び技術サポートを行っている。