2006年1月25日

Press Release

高繰返し高安定性エキシマレーザをリリース

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場)は、2006年1月24日Photonics West 2006(米国のレーザ及び光エレクトロニクス製品の展示会、会期：1/24-26/2006)にて高繰返し高安定性エキシマレーザCOMPexPro^TM1000をリリースした。

新モデルCOMPexPro 1000 は、中型レーザ用プラットフォームの経済性に、それまでハイエンドモデルにしかなかった高繰り返し性能及び長寿命性能を組み合わせたエキシマレーザである。　市場で実績のあるCOMPexProのプラットフォームをベースに、ArF(波長193nm)またはKrF(波長248nm)で100億ショットの長寿命発振が可能である。　また、COMPexPro 1000はパルスエネルギー10〜20mJを極めて優れたパルス間エネルギー安定性のもとに発振する。

なおCOMPexPro 1000はチューブの長寿命化により、クラス最高のコストパフォーマンスを実現する。　このモデルの低ランニングコストは、年間に数10億ショットを消費するような連続運転のアプリケーションに有利である。 さらに、ピークパワーの低いロングパルス波形により、光学系の寿命も延ばすことができるため、総合的な経費削減ができる。

COMPexPro 1000は、1kHzもの高繰返し発振と10〜20Wレンジでの安定化出力により、インクジェットノズル穴あけ加工や半導体フォトマスクの検査など微細加工、穴あけ加工、直接描画や製品検査などの処理速度を向上させ、これらのアプリケーションに経費削減効果を提供する。　総合的にこの新モデルはジョブショップ用及びプロセス開発のためのパイロット生産用に理想的なエキシマレーザといえる。

主な仕様

• 波長： 193 / 248 nm
  
• 平均出力： 10 / 20W (パルス発振)
  
• パルスエネルギー：5-20 / 8-30 mJ
• 最大繰返周波数：1 kHz
• エネルギー安定性(1σ)：<2 %

アプリケーション

• インクジェットノズル穴あけ加工
  
• 半導体フォトマスク検査
  
• 微細加工
  
• 穴あけ加工
  
• 直接描画
  

特長

• 高繰返し
  
• 高安定性
  
• 低価格