2006年1月25日

Press Release

高出力全固体Qスイッチパルスグリーンレーザをリリース

AVIA 532-30は、多数の納入実績を誇るAVIAシリーズの第２高調波出力のレーザで、他のAVIAシリーズと同様の共振器構造や最新の製造方法を使用し、長時間高安定性、高信頼性、簡易操作を実現する。また共振器内の光学部品はすべて、製造特許技術PermAlign^{TM 注１)}を用いて直接ハンダ付けされており、励起用半導体レーザは、自社製のAAA^{TM 注2)}を採用し、長寿命化を図っている。さらには、トータルパルスコントロール機能を装備し、ご要望のパルスと出力をカスタマイズしたソフトウェアで制御することが可能である。

この製品は、優れたビーム質(TEM₀₀, M²<1.3)、高繰返周波数(シングルショット〜150 kHz)動作、短パルス(45 ns)を特長としており、特にその高い平均出力(30W)は、高速加工や高生産性を実現するため、産業分野において幅広い応用への適応が期待されている。

上記の特長により、AVIA532-30はマイクロエレクトロニクス業界における微細加工応用(穴あけ、切断、スクライビング、マーキング、表面処理)向け光源として最適で、また532 nmの波長は、半導体材料に対しその吸収特性により、熱影響が少ない加工ができ、さらには、合成材料、プラスチック、セラミックス、貴金属の加工にも有効である。優れたビーム質で短波長発振であるためより小さなスポットへの集光が可能になっている。.なおリモートセンシングや高出力を必要とする研究用途にも理想的な光源である。

主な仕様

• 波長： 532 nm
  
• 出力： 30W (パルス発振)
  
• 空間モード：TEM₀₀, M²<1.3
• 繰返周波数：シングルショット〜150 kHz
• パルス幅：45 ns

アプリケーション

• 微細加工(穴あけ、切断、スクライビング、マーキング、表面処理)
  
• 半導体加工
  

特長

• 高出力
  
• 高繰返周波数
  
• 優れたビーム質