2007年1月24日

Press Release

高出力産業用エキシマレーザをリリース
〜 2倍のスループットを実現 〜

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場)は、2007年1月23日高出力産業用エキシマレーザLAMBDA SX^TMシリーズの高出力モデルLAMBDA SX 540C(波長：308 nm)をリリースした。

540Cモデルは、高いスループットを求める応用向けに開発された製品で、最大0.9Jまでのパルスエネルギーと最大600 Hzまでの繰返周波数を実現する。600 Hzは、従来モデルの2倍の繰返周波数で、この高繰返しにより、スループットを向上できる。

この新モデルは、従来機のアドバンテージを残しつつ、さらに改良を加えた。例えば、700〜900 mJにおける、どのパルスエネルギー値においても安定したパフォーマンスを実現できるので、ニーズに合わせた出力、運用コストを設定できる。また高出力を求める用途には、PowerLok機能によりバーストモード時のエネルギーを安定化し、信頼性向上のため、ソリッドステートパワーサプライを使用し、ビーム位置安定性を向上させるため、外部共振器デザインを採用している。加えて、TimeLok機能により、安定したトリガリングとタイミングジッターの減少を実現する。さらにリアルタイムコントロールに向けたソフトウェアやE-diagnostics機能など、メンテナンス管理を充実させる機能を強化している。

LAMBDA SXシリーズは、幅広い産業用プロセスに応じる最もコストパフォーマンス(出力/時間)の良いUVレーザであり、高いデューティーサイクルを誇る。主な応用は、高スループットマイクロマシニング、プラスチックやガラス等の表面加工、TCO膜（例ITO, ZnO膜）の形成、フレキシブル基板の薄膜パターニング、薄膜アニーリング、リール to リールPLD（パルスレーザ真空蒸着）等である。また、LAMBDA SXシリーズのすべてのモデルは、コヒレント社のMicroLas光学システムとの組み合わせにより、２ミクロンレベルの加工分解能を実現する。

主な仕様

• 波長： 308 nm
  
• 安定化平均出力：480W　　　*デューティーサイクル60%時
  
• 安定化最大パルスエネルギー： 800 mJ
  
• 最大繰返し周波数： 600 Hz
  
• パルス間エネルギー安定性(1 sigma)： < 2%
  

アプリケーション

• レーザアニーリング
  
• 微細加工