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2007年6月19日

Press Release

産業組込み用 全固体QスイッチパルスUVレーザをリリース


コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ:NASDAQ上場)は、2007年6月18日、産業組込み用 全固体QスイッチパルスUVレーザMATRIXTM355シリーズをリリースした。

MATRIXシリーズは、高性能とコストパフォーマンスを同時に満たすレーザで、励起光源に自社製長寿命AAATM(アルミニウムフリー)のダイオードを使用し、さらに独自のセミロボ製造技術PermAlignTM注1)を採用することにより長寿命を実現している。

新機種MATRIX 355は、昨年1月にリリースしたMATRIX 1064(IR発振)のUVバージョンで、長寿命、優れたビーム質、低ノイズを同時に実現する高性能UVレーザである。また出力タイプにより、MATRIX 355-1-60(平均出力1W@繰返し60 kHz)とMATRIX 355-2-20(平均出力2W@繰返し20 kHz)の2モデルを用意した。どちらのモデルもRoHS規制適合品で、しかも産業分野で求められる長期製品保証付きである。

なお、MATRIX 355は、パルスエネルギーと発振時間をコントロールする機能を備え、光造形、LCDタイトリング、メモリーリペア、薄膜微細加工、精密マーキングや半導体スクライビングのような各種微細加工に最適である。

主な仕様

  • 波長:355 nm
  • 平均出力:1W @ 60 kHz / 2W @ 20 kHz

アプリケーション

  • 各種微細加工 (光造形、LCDタイトリング、メモリーリペア、薄膜微細加工、
     精密マーキング、半導体スクライビング等)

特長

  • 小型設計
  • 高信頼性
  • RoHS規制適合品
  • 製品保証:18ヶ月ないし10,000時間動作のいずれか早い方

注1) PermAlignTM
クリーンルーム内で、ロボットを用いてプレート上に正確に光学部品を直接ハンダ付けする技術。

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