2007年10月3日
Press Release
レーザ直接描画、半導体非破壊検査向けUVレーザをリリース
コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2007年10月1日、高出力全固体モードロックUVレーザのアップグレードモデル PaladinTMAdvanced 355-8000(波長:355 nm、出力:8W、擬似CW)をリリースした。
このアップグレードモデルは、共振効率を改良したことで、消耗品である励起用のダイオードを従来の4つから2つに削減できた。これにより、ランニングコストを低減でき、また従来2台装備していた電源（masterとslave）を1台に削減できたので、省スペースも同時に実現する。さらに従来の8Wモデル同様の優れた空間モード(M2<1.2)、低ノイズ<1% RMS(10 Hz to 2 MHz)、高繰返し80 MHz等の仕様を満たした上、製品価格を従来機に比べ約20％程度低減することに成功した。
なお、製造特許技術PermAlignTMにより、熱膨張率の低いインバーボード上に光学部品を正確に直接ハンダ付けして固定するので、振動に強く、安定動作が長時間調整なしに実現できる。また自社製アルミニウムフリーLDを採用しているので、消耗品のダイオードの寿命が長く、交換回数を低減できる。
Paladin Advanced 355-8000は、プリント基板の直接描画やFPDガラス基板のスクライビング、回路イメージングやベア及びパターン付半導体ウエハーの検査用に最適な光源である。
主な仕様
- 波長：355 nm
- 出力：8W (擬似CW発振)
- 繰返周波数：80±1 MHz
- 空間モード：TEM00(M2<1.2)
- ノイズ(10 Hz to 2 MHz)：<1 % RMS
アプリケーション
- プリント基板直接描画
- 半導体非破壊検査
- FPDガラス基板スクライビング
- CTP印刷
- 高速薄膜微細加工
特長
- 低ランニングコスト
- 高信頼性
- 長寿命
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