2008年1月23日
Press Release
長寿命 小型高繰返しエキシマレーザをリリース
コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ）は、2008年1月22日新チューブの導入により、チューブ寿命を飛躍的に改善した小型、高繰返しエキシマレーザIndyStarTMをリリースした。
IndyStarは、新設計のAlmetaチューブ(RoHS規制適合品)を内蔵し、波長193 nm及び248 nmにおいて数十億ショットのチューブ寿命を実現する。Almetaチューブが高い信頼性と構成部品の長寿命化を実現させた背景には、主に次の２つの理由がある。１つは、Futureチューブ(現行部品）で使用されてきた有機系素材を構成部品から取り除いたこと。そして２つに、コンデンサーの配置の最適化により出力を落とすことなく、電極間の放電密度を低くしたことである。
IndyStarは、従来機ExciStarTM S-Industrialの後継機として開発された。 レーザ本体の寸法や、電源及びガス等の設備の接続位置に加え、パルスあたりのエネルギーや繰返周波数などの仕様がExciStar S-Industrialと同じである。またPCとの接続コネクタも共通であることから、装置の置き換えが可能である。
IndyStarは高繰返しで安定した低ノイズ出力が求められる精密加工や検査用途に適している。特に各種微細加工やフォトマスク検査、インクジェットノズルの穴あけ等の応用に最適である。
主な仕様
- 安定化パルスエネルギー： 8 mJ @ 193 nm (ArF)
12 mJ @ 248 nm (KrF)- 繰返周波数：1 kHz
- ビームサイズ： 6 x 3 mm
アプリケーション
- 微細加工
- フォトマスク検査
- インクジェットノズルの穴あけ
特長
- 長寿命Almetaチューブ採用
- 高繰返し
- 小型
お客様からのお問い合わせ先
コヒレント・ジャパン株式会社 営業部
TEL：03-5365-7100
E-mail: sales.tokyo@coherent.com
プレス・報道関係者からのお問い合わせ先
コヒレント・ジャパン株式会社 マーケティングコミュニケーション部
TEL 03-5365-7122
E-mail: marcom.tokyo@coherent.com