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2008年4月23日

Press Release

ファイバーレーザ技術採用 産業用ピコ秒レーザをリリース

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ:NASDAQ上場)は、2008年4月22日世界初、ファイバーレーザ技術を採用した次世代産業用高出力ピコ秒レーザTaliskerTM(タリスカー)をリリースした。

Taliskerは、基本波(1064 nm)発振において、平均出力18Wを繰返周波数200 kHz、パルス幅<15 psで実現し、SHG(532 nm)、THG(355 nm)モデルもラインナップしている。また、金属、ポリマー、ガラス、半導体等、幅広い加工材料に高スループットで、熱影響(HAZ:Heat Affected Zone)を最小限に抑えた精密マイクロマシンプロセスが可能である。

さらにTaliskerは装置への搭載がし易く、ユーザーフレンドリーな設計を採用している。例えば、内部WEBサーバーを用いて、リモート診断により、簡易にメンテナンス時期の判断ができるので、ダウンタイムを最小限に抑えた運用ができる。またレーザヘッドは、搭載しやすいコンパクト設計(77 x 39 x 17 cm)となっている。

従来のファイバーレーザでは、レーザ本体がダメージを受けないレベルのピークパワーに制限せざるを得なかった。一方、Taliskerは、ファイバーレーザとフリースペースレーザを組み合わせた独特な設計のモードロックレーザで、産業レベルの信頼性を達成するファイバーレーザをオシレータ部に採用し、アンプ段との組み合わせで10メガワット以上のピークパワーを実現する。

Taliskerは、マイクロエレクトロニクス、バイオメディカル、半導体、ソーラー産業等、多種多様な微細加工応用向けに開発された。特にシリコンや金属の孔明け、フレキシブル基板/ディスプレイの直接描画、フラットパネルディスプレイ/ソーラーセルのスクライビング、マイクロミリング(微小の溝削り)、 ウエハダイシング、金属表面処理等の用途に適している。

主な仕様

  • Talisker 1064-18モデル
    波長:1064 nm、平均出力:>18W @ 200 kHz
  • Talisker 532-8モデル
    波長:532 nm、平均出力:>8W @ 200 kHz
  • Talisker 355-4モデル
    波長:355 nm、平均出力:>4W @ 200 kHz

3モデル共通仕様

  • パルス幅:10-15 ps
  • 空間モード:TEM00 (M2<1.3)

アプリケーション

  • 微細加工応用

特長

  • 高ピークパワー
  • 高信頼性
  • ファイバーレーザをベースにした最先端技術
  • 優れた空間モード(M2<1.3)
  • GUI及びRS-232インタフェースを標準装備
  • 独自の製造技術 (PermAlignTM)により頑丈でアライメントフリー
  • AAA(アルミニウムフリー)レーザダイオードの使用により長寿命

お客様からのお問い合わせ先
コヒレント・ジャパン株式会社 営業部
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E-mail: sales.tokyo@coherent.com

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