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2008年7月30日

Press Release

微細加工向け 高出力28W全固体パルスUVレーザをリリース

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ:NASDAQ上場)は、2008年7月30日産業用全固体パルスUVレーザAVIATM355シリーズに高出力28Wモデル(@繰返し110 kHz、波長355 nm)をラインナップした。

AVIA 355-28は、波長355 nm、繰返し100 kHzクラスの産業用UVレーザとしては、業界最高出力の28Wを実現する。各微細加工応用において、レーザの高出力及び高繰返しは、スループットの向上と部品あたりのコスト削減を可能にする。

またAVIA 355-28は、加工性能の向上と長期的なランニングコストの削減を実現する設計を採用している。例えば、ビーム位置安定化機能PosiLockTMや急速に変化するパルス繰返しに依存せず、エネルギーを均一にする技術PulseEQTM、さらに自動THG結晶シフターを搭載し、連続稼動を実現する。

Verdi-V12の主な応用は、研究分野のフェムト秒チタンサファイアレーザや高繰返し再生増幅器の励起用である。単一縦モードデザインの基、超低ノイズを誇るこのレーザの特長を生かし、CEP(Carrier Envelope Phase)安定化応用を始め、周波数コム、ブロードバンドポンププローブ分光学や急速に成長しているアト秒物理応用にも理想的な光源である。

主な仕様

  • 波長:532 nm
  • 出力:12W
  • 光ノイズ(10 Hz to 1 GHz):<0.03 % rms

アプリケーション

  • 研究応用(レーザ励起、周波数コム、CEP安定化等)

特長

  • 低ランニングコスト
  • 超低ノイズ
  • 高信頼性

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