コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2009年1月27日全固体モードロックUVレーザPaladin^TM Advancedシリーズの高出力モデル(10W/16W)をラインナップした。

このPaladin 355 nmシリーズは、独自の半導体チップ（SBR）を採用し、80 MHzの高繰返し周波数でモードロック(擬似CW)発振する、高出力（Wクラス）UVレーザである。既にプリント基板直接描画装置、フラットパネル及び太陽電池（ソーラーセル）などの微細加工、半導体非破壊検査（ベアウェハやパターン付きウェハ）、工業用印刷（CTPやフレキソグラフィ等）の応用分野において、多数の搭載実績を誇る。

今回の新モデルは、2007年に発表した従来機(Paladin Advanced 8Wモデル)をさらに効率化し、お客様の要望である2倍の出力(16W)を実現した。この高出力化により、装置のスループットが大幅に向上することが期待されている。特にプリント基板直接描画応用においては、この出力向上により、感度の低い、より安価なレジストへの適応も可能となる。また大部分の設計・構成は従来モデルと共通であり、寸法やビーム特性等に互換性を持たせているので、従来モデルからの置き換えを容易に行うことができる。

主な仕様

• 波長： 355 nm
• 出力： 10W (Paladin Advanced 355-10000)
  　　　　16W (Paladin Advanced 355-16000)
• 繰返周波数：　80 MHz
• 空間モード：　TEM₀₀(M²<1.2)
• 光ノイズ(10 Hz to 2 MHz)：　<1% rms

アプリケーション

• プリント基板直接描画
• 印刷応用
• 非破壊検査
• フレックスシート高速切断
• 高速薄膜除去
• スクライビング加工
• レーザアニ―リング

特長

• 高出力発振
• 長期に渡りハンズフリー動作を実現　（自動THG結晶シフター内蔵）
• 優れたビーム質
• 低消費電力、循環水冷式

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