コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2009年6月15日小型全固体QスイッチパルスレーザMATRIX^TMシリーズのグリーンモデルMATRIX 532 (波長：532 nm、平均出力： 8W @ 繰返周波数100 kHz)をラインナップした。

MATRIXグリーンモデルは、太陽電池、半導体、医療デバイスなど、さらなるコストパフォーマンスが重要視されるマーケット向けに投入された。この新モデルは、マーケットニーズに合わせた低コストを実現しながら、独自のセミロボテック生産技術PermAlign^TM注1)やAAA^TM（アルミニウムフリー）ダイオードを採用することで高い信頼性を維持する。長期メンテナンスフリーをコンセプトとし、基本保証は18ヶ月(10,000時間)である。

性能面では、高出力安定性(<2%)、低ノイズ(典型値<2% rms)、優れたビーム位置安定性(<15 μrad/℃)やビーム質(M²<1.3)などを備えている。また、高繰返し動作時においても高いピーク出力と短パルスを発揮し、熱影響を回避した高い加工品質を実現する。さらに、低繰返し動作モデルも同時にラインナップされ、レーザ加工装置のコンセプトに合わせた幅広いパフォーマンスを提供する。

MATRIX 532は、スループットあたりの単位コストが追求されているアプリケーション向けに投入され、代表的な例として、薄膜ソーラーセルのP2, P3パターニングや半導体材料のダイシング/スクライビング/トリミング、またポリマーの切断/穴あけ等が挙げられる。また、IDカード、ソーラーセル、シリコンウェハ、LCD、FPD、ハードディスク、チップデバイス等、幅広い材料への高速マーキング全般にも適している。

• 波長： 532 nm
• 平均出力： 8W @ 100 kHz、パルス発振
• パルス幅：<35 ns @100 kHz
• パルス間安定性：<2 %rms
• 空間モード：TEM₀₀

• ソーラーセル薄膜パターニング
• 半導体デバイス加工
• 各種マーキング

• 小型設計
• 高性能、長寿命
• RoHS規制適合品
• 製品保証：18ヶ月 (10,000時間)

注1）PermAlign： クリーンルーム内で、ロボットを用いてプレート上に正確に光学部品を直接ハンダ付けする技術。

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