コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、2009年6月15日産業用大出力全固体パルスIRレーザMamba^TM(波長：1064 nm、平均出力： 525W @ 10 kHz)をラインナップした。

Mambaは、薄膜太陽電池のエッジデリーションやITO膜のパターニング等、高スループットでの加工が求められる応用向けに開発され、産業レベルに不可欠な高信頼性、長寿命かつダウンタイムの最小化を同時に実現する。またMambaの高信頼性は、独自のセミロボテック生産技術PermAlign^TM注1)や自社製長寿命AAA^TM（アルミニウムフリー）ダイオードの採用により実現した。さらに、励起用ゲインモジュールはフィールド交換が可能なため、ダウンタイムを最小限に抑えることができる。

Mambaは、レーザヘッドと電源が分離（ケーブル長5 m）されており、スペースに制限がある装置への搭載が容易である。加えて、ファイバー伝送オプションも提供可能で、600μm、 800 μm径のスクエアファイバーにより、エッジデリーション用途などにおいて、加工スループットを最大化できる。またMambaは、シングルショットやバーストモード動作時のファーストパルス安定化機能、内蔵式アッテネータ等を備えて、スループットや加工品質の向上のみならず、柔軟な操作性をも実現する。なお、コヒレント社は、Mambaのグリーンモデル（出力：325W @ 波長：532 nm）も同時にリリースする。

主な仕様

• 波長： 1064 nm
• 平均出力： >525W @ 10 kHz、パルス発振
• パルス幅：<90 ns @10 kHz
• パルス間安定性：<1 %rms (1σ)

アプリケーション

• ソーラーセル加工(エッジデリーション、薄膜パターニング)
• レーザアニーリング(TFT、半導体パワーデバイス)
• ITO薄膜、ブラックマトリクスパターニング

特長

• 自社製新設計PulseLifeダイオード搭載
• ゲインモジュールのフィールド交換可能
• 良質な空間モード特性 (マルチモード)
• PermAlign技術によるアライメントフリー設計
• 任意のバーストオペレーションが可能

注1）PermAlign： クリーンルーム内で、ロボットを用いてプレート上に正確に光学部品を直接ハンダ付けする技術。

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