産業用 大出力 全固体パルス グリーンレーザをリリース

コヒレント社（米国カルフォルニア州サンタクララ：NASDAQ上場）は、産業用大出力全固体パルスレーザMamba^TMシリーズにグリーンモデルMamba Green (波長：532 nm、平均出力： 325W @ 10 kHz、パルス発振)をラインナップした。

Mamba Greenは繰返し10 kHz時、325Wの高出力グリーン光を発振する全固体レーザで、SHGクリスタルシフターやフィールド交換可能なゲインモジュール(期待寿命：25,000時間以上)を採用していることが特長である。さらに、シングルショットやバーストモードでの出力安定化や、ファーストパルスを制御するパルスオンデマンド機能により、高いスループットと柔軟性を実現する。

Mamba Greenは、切断、穴あけ、パターニングなど、幅広い用途に理想的な光源である。穴あけ加工の一例として、800 μm厚のアルミニウムに0.25 mm径の穴を1分間に1000穴あけるなどの高速加工が可能である。また、ディスプレイ製造工程における低温ポリシリコン(LTPS)の結晶化や、IGBT/CMOSデバイスの活性化、CMOSセンサーのアニーリング等、多様な半導体プロセス応用にも有用である。

主な仕様

• 波長： 532 nm
• 平均出力： >325W @ 10 kHz パルス発振
• パルス幅：<90 ns @10 kHz
• パルス間安定性：<1.5 %rms (1σ)

アプリケーション

• 微細加工(切断、穴あけ、パターニング　等)
• レーザアニーリング

特長

• 自社製新設計PulseLife^TMダイオード搭載
• ゲインモジュールのフィールド交換可能
• 良質な空間モード特性 (マルチモード)
• PermAlign^TM注1)技術によるアライメントフリー設計
• 任意のバーストオペレーションが可能

注1）PermAlign： クリーンルーム内で、ロボットを用いてプレート上に正確に光学部品を直接ハンダ付けする技術。

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