ビームフラックスモニター EBM-1000
ヌードゲージタイプのビーム強度測定機です。
移動機構付で移動量はチャンバーに合わせて製作致します。
仕様
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動作圧力
1×10
-1
〜2.7×10
-9
Pa
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取付けフランジ
ø114ICF
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移動量
チャンバーに合わせて製作
