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放電室が大きく、しかも無電極であるため、長時間プラズマ放電を持続させても汚れが全くなく、安定したラジカルビームが供給できます。
ファイバースコープ/分光器を装備できますので、放電中の光強度スペクトルを常時CRT上で監視しつつ、ビーム量の調整操作を行なえます。 |
| ■ ラジカルフラックス強度
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1015atoms/cm2・sec以上
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| ■ RF出力 |
100〜300W （連続可変） |
| ■ イオントラッパー電圧 |
最大600V |
| ■ マスフローコントローラー |
10sccm （オプション） |
| ■ 移動機構 |
±60mm （オプション） |
| ■ 取付けフランジ |
ø152ICF （標準） ø70ICF / ø114ICF にも対応 |
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