 |
本スパッタ源は、高融点金属や複雑な組成の合金の薄膜作製に最適です。
ターゲットに熱ダメージを与えないよう工夫されておりますので、いろいろな種類のターゲット材料が使用できます。 |
|
ES-3000
|
ES-3000U
|
ES-4000
|
ES-4000U
|
ES-6000
|
ES-6000U
|
■ ターゲット寸法
|
3インチ
|
4インチ
|
6インチ
|
| ■ 取付けフランジ |
ø152ICF
|
ø203ICF
|
ø253ICF
|
| ■ シャッター |
無/手動の何れか選択
|
無/手動の何れか選択
|
無/手動の何れか選択
|
|
高真空
|
UHV仕様
|
高真空
|
UHV仕様
|
高真空
|
UHV仕様
|
|
仕様
|
|
仕様
|
|
仕様
|
|
|
|
