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制御ユニットはカラー液晶表示で見やすく、操作も簡単です。
モニターする材料が内部登録されておりますので、パネル上にて材料が選択できます。任意で材料を入力することも可能です。
表示は日本語と英語の選択が可能です。
制御ユニットは１チャンネル表示と２チャンネル表示の２タイプ用意しており、２チャンネル表示は１台のユニットで２本のセンサーを使用することができます。 |
■ センサー
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１．フランジサイズ |
ø70ＩＣＦ / ø90ＶＦ |
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２．シャッター |
シャッター無し / 手動 より選択 |
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３．全長 |
305mm （指定寸法に合わせて製作可能） |
| ■ 制御ユニット |
４．ＲＡＴＥ分解能 |
0.01Å
（測定回数10/秒 測定時間10秒を0.1秒毎にリフレッシュ） |
| ５．ＲＡＴＥ表示分解能 |
0.01Å/sec （0〜999.99Å/sec） |
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６．周波数測定範囲 |
6〜5MHｚ |
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７．膜厚表示 |
0〜9.999ｋÅ |
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８．接続センサー |
ETM-100R：1台 / ETM-200R：2台 |
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９．レコーダ出力 |
0〜10V（RATE）
（出力電圧範囲は、0-10V内にて任意に設定可能） |
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１０．制御出力 |
THICKNESS SETPOINT |
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１１．表示部 |
カラー液晶タッチパネル |
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１２．所要電力 |
AC100V 50VA |
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１３．外形寸法 |
H150×W200×D300 |
| ■ オシレータ |
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センサー部に接続
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| ■ 接続ケーブル |
１４．BNCケーブル |
10ｍ |
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