Ｓｅ用バルブドラジカルセル　EVR-2000

Seのクラッキング効率が良く、少量の原料でも効率良く成膜が行えます。   仕様   ■ 最高温度 500℃ ■ 容量 500ｃｃ〜2000ｃｃ ■ ヒーター シースヒーター及びカートリッジヒーター ■ ラジカルフラックス強度 1015atoms/cm2・sec以上 ■ ＲＦ出力 100〜300W　（連続可変） ■ ＰＢＮライナー付き   ■ 耐ベーキング温度 200℃ ■ 取付けフランジ ø203ICF ■ シャッター エア駆動 ＊当製品は国内販売に限ります。