RHEED（高速反射電子回折装置）　MB-1000

超高真空用としてのベーカブル機構を完備しており、高圧ケーブルを抜くだけで電子銃は200℃のベーキング温度に耐えられます。 電子銃はピアス型でセルフバイアス方式を採用し、明るいスポット/安定した高い分解能指数のパターンが得られます。　蛍光板に鉛ガラスを使用し、完璧な漏洩X線対策が施されています。 電子銃は、差動排気型もあります。   仕様   ■ 加速電圧 30ｋＶ ■ フィラメント形式 ヘアピン型 ■ 電子ビーム径 ø90μm　（基板面と蛍光板間の距離が400ｍｍの場合） ■ 耐真空度 10-9Pa ■ ベーキング温度 200℃ ■ 取付けフランジ ø114ICF