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ヒーター/熱電対をチャンバー内に入れない構造になっているので、ヒーター/熱電対が蒸発物によって汚染されることが全くありません。又、ヒーター/熱電対とは無関係に真空側の圧力を上げたり、特定ガス雰囲気にすることもできます。 |
| ■ 最高加熱温度 |
500℃ |
■ ヒーター材質
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シースヒーター |
| ■ 容量 |
10cc / 25cc 40cc より選択 |
| ■ 熱電対 |
K （CA） |
| ■ 取付けフランジ |
ø114ICF |
| ■ シャッター |
手動 / エア駆動 より選択 |
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--- Stable flux can be obtainable even if used at low temperature
for a long time. --- |
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