イオン化セル　MB-3000E

特長 原料原子をイオン化することにより、熱エネルギー以外に運動エネルギーを原料原子に与えることができます。 これにより原子の膜表面での泳動が促進され、高品質薄膜を作製することが可能です。   仕様   ＜セル部＞ ■ 最高温度 1300℃ ■ ルツボ容量 40cc ■ ヒーター形状 粗密無誘導コイル型 ■ 熱電対 WRe（5-26） ■ 取付けフランジ φ152ICF ■ シャッター 自動（エア駆動） ＜イオン化部＞ ■ 加速電圧 2ｋＶ、50ｍＡ ■ フィラメント 20Ｖ、10Ａ ■ イオン化電源 100Ｖ、100ｍＡ ■ イオン量測定機構及び電流計付