Siセル MB-3000Si
従来のセルでSiを蒸発させようとすると、最高加熱温度が1300℃であるためRATEが取れませんでしたが、Siセルは1600℃まで加熱できるため安定したRATEが得られます。
仕様
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最高加熱温度
1600℃ （常用 1500℃）
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ヒーター材質
グラファイト
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ルツボ容量
5cc
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熱電対
WRe (5-26)
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取付けフランジ
ø114ICF
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シャッター
エア駆動
