バルブドクリスタルセル　MB-3000V

MBEに於いて、結晶成長室とKセルの間にバルブを設け相互に真空遮断できる構造にしますと、結晶成長室のベーキング温度の影響がセルに及ぶことを防ぐことができ、S/P/Asの様な高蒸気圧を持つ材料でも固体蒸発源として使用することができるようになります。   仕様   ■ 最高加熱温度 500℃ ■ 加熱機構 蒸発部　/　バルブ部　/　原材料部に組込み　（3点の温度制御可） ■ ヒーター シースヒーター及びカートリッジヒーター ■ 容量 60ｃｃ　　　（＊その他容量の大きいものも製作できます） ■ 取付けフランジ ø114ICF ■ 耐ベーク温度 200℃ Data of sulfur Beam flux control by needle valve Beam flux stability Beam flux shut-off