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マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。
又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。 |
| ■ 基板寸法
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ø3インチ |
| ■ 基板温度 |
Ta ： 1000℃Max （基板表面）/ランプ：800℃Max(基板表面) |
| ■ 可動範囲 |
X軸 ±5mm
Y軸 ±5mm
Z軸 ±10mm
傾斜 3°(トップエントリー型) / ±105°(サイドエントリー型)
面内回転 360° （モーター駆動） |
| ■ 取付けフランジ |
ø253ICF トップエントリー型 / サイドエントリー型 |
| ■ シャッター |
手動 エア駆動 の何れかより選択 |
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