マニピュレータ　4インチ　MB-4400K

マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。 又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。   仕様   ■ 基板寸法 ø4インチ ■ 基板温度 Ta　： 1000℃Max　（基板表面）/ランプ：800℃Max(基板表面) ■ 可動範囲 X軸　　±5mm Y軸　　±5mm Z軸　　±10mm　 面内回転　　360°　　（モーター駆動） ■ 取付けフランジ ø253ICF　　トップエントリー型 ■ シャッター 手動　　エア駆動　の何れかより選択