マニピュレータ　6インチ　MB-4600K

マニピュレータはご使用チャンバーにより軸の寸法が異なりますので、指定寸法にて製作致します。 又ご要望により、加熱・冷却等様々な機能を持つマニピュレータも製作致します。   仕様   ■ 基板寸法 ø6インチ ■ 基板温度 Ta　： 1000℃Max　（基板表面）/ランプ：800℃Max(基板表面) X軸　±5mm Y軸　±5mm Z軸　±10mm 面内回転　360°(モーター駆動) ■ 取付けフランジ ø406ICF　　トップエントリー型 ■ シャッター 手動　　エア駆動　の何れかより選択