回転導入機 MB-8600
回転運動をチャンバー内に非接続方式で伝導するデバイスです。
超高真空用に開発されたもので。手動式とエア駆動式、電動式の3種類があります。
回転軸に過負荷がかかった時空回りし、機器の損傷を妨げる構造となっています。
 
  仕様  

型式
取付フランジ
駆動方式
回転角度
駆動軸径
最大トルク
耐真空度
耐ベーキング温度
本体
駆動部
MB-8600
ø34 ICF
手動
360°
ø6mm
0.5 N・m
10-9Pa
200℃
-
MB-8600A
ø34 ICF
エア駆動
180°
ø6mm
0.5 N・m
10-9Pa
200℃
50℃
MB-8600M
ø34 ICF
電動
360°
ø6mm
0.5 N・m
10-9Pa
200℃
50℃
MB-8700
ø70 ICF
手動
360°
ø6mm
0.5 N・m
10-9Pa
200℃
-
MB-8700A
ø70 ICF
エア駆動
180°
ø6mm
0.5 N・m
10-9Pa
200℃
50℃
MB-8700M
ø70 ICF
電動
360°
ø6mm
0.5 N・m
10-9Pa
200℃
50℃

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