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回転運動をチャンバー内に非接続方式で伝導するデバイスです。
超高真空用に開発されたもので。手動式とエア駆動式、電動式の3種類があります。
回転軸に過負荷がかかった時空回りし、機器の損傷を妨げる構造となっています。 |
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型式
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取付フランジ
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駆動方式
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回転角度
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駆動軸径
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最大トルク
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耐真空度
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耐ベーキング温度
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本体
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駆動部
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| ■ MB-8600 |
ø34 ICF
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手動
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360°
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ø6mm
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0.5 N・m
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10-9Pa
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200℃
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-
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| ■ MB-8600A |
ø34 ICF
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エア駆動
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180°
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ø6mm
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0.5 N・m
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10-9Pa
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200℃
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50℃
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| ■ MB-8600M |
ø34 ICF
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電動
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360°
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ø6mm
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0.5 N・m
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10-9Pa
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200℃
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50℃
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| ■ MB-8700 |
ø70 ICF
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手動
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360°
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ø6mm
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0.5 N・m
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10-9Pa
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200℃
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-
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| ■ MB-8700A |
ø70 ICF
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エア駆動
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180°
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ø6mm
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0.5 N・m
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10-9Pa
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200℃
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50℃
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| ■ MB-8700M |
ø70 ICF
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電動
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360°
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ø6mm
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0.5 N・m
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10-9Pa
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200℃
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50℃
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