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ｾﾙ | ||
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ｲｵﾝ化ｾﾙ 多源ｾﾙ Kｾﾙ 高温ｾﾙ Siｾﾙ ｸﾘｽﾀﾙｾﾙ ﾊﾞﾙﾌﾞﾄﾞｸﾘｽﾀﾙｾﾙ Se用ﾊﾞﾙﾌﾞﾄ ﾗｼﾞｶﾙｾﾙ 横型ｾﾙ |
MB-3000E MB-3000M MB-3000 MB-3500 MB-3000Si MB-3000C MB-3000V EVR-2000 OUP-3000 |
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EBｶﾞﾝ(180°偏向型) | ||
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3ｋW3連型 3ｋWｼﾝｸﾞﾙ型 |
MB-5033S MB-5031VS |
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EBｶﾞﾝ(270°偏向型) | ||
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5ｋW8連型 5ｋWｼﾝｸﾞﾙ型 |
MB-5258S MB-5251VS |
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RHEED | ||
| RHEED | MB-1000 | ||
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| ﾗｼﾞｶﾙ源 | ER-1000 | |
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ﾏﾆﾋﾟｭﾚｰﾀ | ||
| 1ｲﾝﾁ 2ｲﾝﾁ 3ｲﾝﾁ 4ｲﾝﾁ 6ｲﾝﾁ |
MB-4100K MB-4200K MB-4300K MB-4400K MB-4600K |
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| ｽﾊﾟｯﾀ源 | ES-3000 |
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ｽﾊﾟｯﾀﾘﾝｸﾞﾀｰｹﾞｯﾄ |
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その他 | ||
| ビームフラックス モニター ﾄﾗﾝｽﾌｧｰﾛｯﾄﾞ 回転導入機 膜厚ﾓﾆﾀｰ 膜厚ﾓﾆﾀｰ |
EBM-1000 MB-9000 MB-8600 ETM-100R ETM-200R |
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