イオン化セル 多源セル Kセル 高温セル Siセル
クリスタルセル バブルドクリスタルセル バブルドラジカルセル 横型セル
3kW3連型 3kWシングル型
5kW8連型 5kWシングル型
RHEED
ラジカル源
マニピュレーター 1インチ マニピュレーター 2インチ マニピュレーター 3インチ マニピュレーター 4インチ マニピュレーター 6インチ
スパッタ源
スパッタリングターゲット
ビームフラックスモニター トランスファーロッド 回転導入機 膜厚モニター
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