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この装置はTEM/SEMの試料作製用装置として、手軽に簡単に操作することができます。
1.33Pa程度の低真空でグローチャージを起こさせて残留ガスをイオン化し、このガスイオンのエネルギーを利用して金属をスパッタさせたり、試料のクリーニング・或いはエッチングを行なう装置です。 |
■ 上部電極（ターゲット）
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ø50mm （円形） |
| ■ 下部電極 |
ø52mm |
| ■ 試料台冷却 |
水冷式 |
| ■ ターゲット・試料台間隔 |
20mm、35mm |
| ■ イオン化電圧 / イオン化電流 |
D.C. 0〜1400V / 10ｍA（Max）電流計付 |
| ■ コーティング用電極（オプション） |
Au / Au-Pd / Pt-Pd |
| ■ 真空ポンプ |
R.P20L/min （外置き） |
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