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この装置は高分解能SEM用として、粒子の細かなPtやPt-Pdのスパッタコーティングが可能なばかりでなく、金属やセラミック、生体硬組織等のイオンエッチングが効率よく行なえます。
電極は上下ともドーナツ型をしていて、安定な放電を維持させる距離に固定してあり、試料台はこの電極間を上下可能にして試料とターゲット間隔が自由に選択できます。 |
■ 上部電極（ターゲット）
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ø45mm - ø70mm （ドーナツ形） |
| ■ 下部電極 |
ø50mm - ø70mm （ドーナツ形） |
| ■ 試料台冷却 |
水冷式 |
| ■ ターゲット・試料台間隔 |
20mm、35mm、45mm、55mm の4段可変 |
| ■ イオン化電圧 / イオン化電流 |
D.C. 0〜3000V / 10ｍA（Max）電流計付 |
| ■ コーティング用電極（オプション） |
Au / Au-Pd / Pt-Pd / Pt |
| ■ 真空ポンプ |
R.P50L/min （内臓） |
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