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特長
- 本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
- 3kW5連EBガンを付属しておりますので、多種の材料を連続して蒸着させることができます。
- EBガンはUHV対応ですので、超高真空下での蒸着が可能です。
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| ■ 蒸着チャンバー |
１．到達圧力 |
1×10-7Pa以下 |
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２．チャンバーサイズ |
φ406×600程度 |
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３．基板ホルダー |
サイズ ： φ5インチ
加熱温度 ： 最高 300℃
冷却機構付 |
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４．蒸発源 |
3ｋW5連型EBガン
ルツボ容量 ： 2cc×5 |
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５．膜厚モニター |
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６．排気系
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TMP |
| ■ LLチャンバー |
７．到達圧力 |
6.5×10-6Pa以下 |
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