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特長
- 本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
- 蒸発面に対して基板が±90°回転しますので、傾斜蒸着が可能です。
- ５連の電子銃蒸発源を装備しているにも拘らず、非常にコンパクトに設計されています。
- 設置スペースは、2ｍ×2ｍですので、小スペースにも設置可能です。
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| ■ 蒸着チャンバー |
１．到達圧力 |
10-7Pa台（ベーキング後） |
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２．チャンバーサイズ |
φ305ICF×L700 |
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３．基板ホルダー |
サイズ ： 2インチ
基板基盤加熱温度 ： 最高 500℃
冷却機構付（LN2による冷却） |
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４．蒸発源 |
3ｋW5連型EBガン
ルツボ容量 ： 2cc×5 |
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５．膜厚モニター |
レート分解能： 0.1Å |
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６．排気系
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TMP＋RP |
| ■ LLチャンバー |
７．到達圧力 |
10-4Pa台 |
| ■ オプション |
８．ベーキングシステム |
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