 |
特長
- 本装置は、蒸着室、ロードロック室の2室で構成されています。
- 外部制御装置により、8連の電子銃蒸発源の自動交換を含め、複数の蒸着材料を任意の厚み、蒸着速度、順序で蒸着できるようプログラム制御されています。
|
| ■ 成膜室 |
１．到達圧力 |
3×10-6Pa以下 |
|
２．チャンバーサイズ |
内寸 W700×D700×L600 |
|
３．基板ホルダー |
サイズ ： 100ｍｍ×100ｍｍ
冷却機構 ： 最低温度130K |
|
４．蒸発源 |
6ｋW8連型EBガン
ルツボ容量 ： 10cc×8 |
|
５．膜厚モニター |
|
| |
６．排気系
|
TMP |
| ■ 集束EBガン |
７．到達圧力 |
3×10-6Pa以下 |
|
|
