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ZnSe系・GaN系を問わず、青色LED・LDの研究開発の為、経済的で効率の良い実験装置として開発されたMBE装置です。 ファイバースコープを基板下面に装着することにより、カソードルミネッセンススペクトラムをその場で、且つ室温で観察できるようになりました。 |
| ■ 成膜室
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１．到達圧力 |
10-8Pa |
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２．基板寸法 |
2インチ |
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３．基板加熱温度 |
1000℃ |
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４．ヒーター材質 |
Taヒーター |
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５．排気系 |
TMP250L/sec R.P162L/min |
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■ ロードロック室
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６．到達圧力 |
10-4Pa |
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７．排気系 |
TMP60L/sec R.P90L/min |
| ■ オプション |
８．RHEED / ラジカル源 / セル / EBガン / スパッタ源 |
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