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従来のEW-5型より更に小型の水冷式MBE装置です。
小型でありながらRHEEDも取り付き、MBEとしての基本性能はすべて満たされております。
更に豊富なコンポーネンツと組み合わせることにより、いろいろな薄膜作製ができる様になります。 |
| ■ 成膜室
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１．到達圧力 |
10-8Pa |
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２．基板寸法 |
1インチ |
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３．基板加熱温度 |
800℃ |
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４．ヒーター材質 |
ランプヒーター |
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５．熱電対 |
WRe (5-26) |
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６．排気系 |
TMP210L/sec R.P162L/min |
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■ ロードロック室
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７．到達圧力 |
10-4Pa |
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８．排気系 |
TMP60L/sec R.P90L/min |
| ■ オプション |
９．小型RHEED / ラジカル源 / セル / 3ｋWEBガン / スパッタ源 |
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