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有機材料の蒸着、マスクパターニング、金属蒸着という一連のプロセス作業を真空を破らずに行うことが出来ます。
オプションとして用意されている輝度評価チャンバーを取り付けると、真空を破らずに成膜中の輝度をチェックすることが出来るようになります。
更にスパッタリングチャンバーを結合することにより、一連の成膜プロセスにスパッタリングでの膜を組み込むことができるようになります。
有機セルは昇華性材料、溶融性材料それぞれに対応可能な構造を有しており、長時間安定した成膜が可能です。 |
| １．基板最大 |
100×100mm |
| ２．到達圧力 |
10-6Pa |
| ３．蒸発源 |
有機セル×6本
金属セル×2本 |
| ４．マスク |
ピン位置合わせ |
| ５．オプション |
スパッタチャンバー、輝度評価チャンバー
真空スーツケース、グローブボックス
高融点用ＥＢガン |
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