有機薄膜作製装置 EO-5
本装置は有機EL薄膜作成及び材料開発のための次の工程を、真空を破らずに一貫して作業できる様設計された装置です。
有機材料の蒸着
マスクパターニング
素子評価機能
仕様
■
チャンバー
１．到達圧力
10
-5
Pa
２．チャンバーサイズ
ø400mm×400mm
３．基板寸法
30mm×30mm（Max）
４．基板装着枚数
5枚
５．マスクホルダー
有機用/メタル用 各2枚
６．排気系
TMP500L/sec R.P162L/min
EO-5を用いて作製した有機ELデバイスの特性
データ提供
京都大学国際融合創造センター
藤田研究室
